Là một loại kính hiển vi dùng nguyên lý quét một mũi dò nguyên tử trên một bề mặt ở khoảng cách nguyên tử để hiển thị, nghiên cứu và xử lý các tình trạng bề mặt vật chất như  topo, các tính chất lý, hoá, sinh,... Cấu tạo chính bao gồm: - Bộ đầu dò với chế độ tĩnh và động. - Nguồn. - Hệ điều khiển điện tử. - Bộ cách tử hiệu chuẩn thang chia micromet. - Phần mềm SurfaceScan, phần mềm xử lý dữ liệu, hiển thị và phân tích SurfaceView, CD với drive cho camera quan sát. 

- Vật lý chất rắn.

- Quang học. -

Công nghệ màng mỏng.

- Công nghệ nano.

- Công nghệ bán dẫn.

- Phân tích bề mặt phẳng.

- Polymer và các hợp chất dựa trên polymer.

- Cơ khí chính xác cao.

- Tế bào sinh học.